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  • PP 064

Liquid target reactive magnetron sputtering of GaN on (AlN/)Al2O3

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Themen

  • Characterization
  • Growth

Mitwirkende

Dr. Thomas Tschirky (Evatec AG / CH), Patrick Loretz (Evatec AG / CH), Dr. Fabio Isa (Evatec AG / CH), Dr. Dominik Jaeger (Evatec AG / CH)

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