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Abstract Talk
AT 254

Metal stop laser drilling for blind via holes of GaN-on-GaN devices

Termin

Datum: 14.10.2022

Zeit: 11:00 – 11:15

Redezeit: 12 Min.

Diskussionszeit: 3 Min.

Ort / Stream:

Salon Rome

Session

Device processing technology

Themen

Characterization
Electronic devices

Mitwirkende

Professor Chiaki Sasaoka (Nagoya University / JP), Prof. Dr. Hiroshi Amano (Nagoya University / JP)