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Poster Presentation
PP 349

Enhancing dislocation annihilation in high-temperature-annealed AlN templates by ion implantation

Termin

Datum: 12.10.2022

Zeit: 12:00 – 12:00

Redezeit: 0 Min.

Diskussionszeit: 0 Min.

Ort / Stream:

Topic Growth

Session

Growth

Themen

Characterization
Growth

Mitwirkende

Christoph Margenfeld (Technische Universität Braunschweig / DE), Lukas Peters (Technische Universität Braunschweig / DE), Jan Krügener (Leibniz Universität Hannover / DE), Carsten Ronning (Friedrich Schiller Universität Jena / DE), Dr. Jana Hartmann (Technische Universität Braunschweig / DE), Prof. Dr. Andreas Waag (Technische Universität Braunschweig / DE)