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Invited Talk
IT 14

Selective-area p-type doping by ion implantation with ultra-high-pressure annealing and its device applications

Termin

Datum: 11.10.2022

Zeit: 08:30 – 09:00

Redezeit: 25 Min.

Diskussionszeit: 5 Min.

Ort / Stream:

Salon Rome

Session

Ion implantation and annealing