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Poster Presentation
PP 116

Modeling and experimental validation of wafer curvature during growth of thick GaN layers on large Si(111) substrates for vertical power devices

Termin

Datum: 11.10.2022

Zeit: 13:15 – 13:15

Redezeit: 0 Min.

Diskussionszeit: 0 Min.

Ort / Stream:

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Session

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Themen

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Growth

Mitwirkende

Sondre Michler (Siltronic AG / DE)