.css-1xsl8rf{width:100%;display:-webkit-box;display:-webkit-flex;display:-ms-flexbox;display:flex;-webkit-align-items:center;-webkit-box-align:center;-ms-flex-align:center;align-items:center;position:relative;overflow:hidden;background:var(--alert-bg);-webkit-padding-start:var(--chakra-space-4);padding-inline-start:var(--chakra-space-4);-webkit-padding-end:var(--chakra-space-4);padding-inline-end:var(--chakra-space-4);padding-top:var(--chakra-space-1);padding-bottom:var(--chakra-space-1);--alert-fg:var(--chakra-colors-orange-600);--alert-bg:var(--chakra-colors-orange-100);font-weight:var(--chakra-fontWeights-semibold);padding-left:var(--chakra-space-4);}.chakra-ui-dark .css-1xsl8rf:not([data-theme]),[data-theme=dark] .css-1xsl8rf:not([data-theme]),.css-1xsl8rf[data-theme=dark]{--alert-fg:var(--chakra-colors-orange-200);--alert-bg:rgba(251, 211, 141, 0.16);}@media screen and (min-width: 48em){.css-1xsl8rf{padding-left:var(--chakra-space-8);}}Bitte aktivieren Sie Javascript um alle Funktionen nutzen zu können und ihre Nutzererfahrung zu verbessern.

Poster Presentation
PP 382

Chemical mapping with sub-10nm resolution – bulk and e-transparent specimens of FinFET and LED devices investigated with SEM EDS

Termin

Datum: 12.10.2022

Zeit: 12:00 – 12:00

Redezeit: 0 Min.

Diskussionszeit: 0 Min.

Ort / Stream:

Topic Novel Materials and Nanostructures

Session

Novel Materials and Nanostructures

Themen

Characterization
Novel Materials and Nanostructures

Mitwirkende

Purvesh Soni (Bruker / DE), Dr. Anna Mogilatenko (Ferdinand-Braun-Institut / DE), Meiken Falke (Bruker / DE)