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Abstract Talk
AT 156

ALE of AlGaN/GaN and ALD of GaN/AlN applying in-situ atomic layer real time monitor

Termin

Datum: 12.10.2022

Zeit: 15:30 – 15:45

Redezeit: 12 Min.

Diskussionszeit: 3 Min.

Ort / Stream:

Session

h-BN UV LED and quantum dots

Thema

Novel Materials and Nanostructures

Mitwirkende

Xuemei Wang (SENTECH Instruments GmbH / DE), Jakob Zessin (SENTECH Instruments GmbH / DE), Abid Ali (SENTECH Instruments GmbH / DE), Marcel Schulze (SENTECH Instruments GmbH / DE)