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IWN 2022
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Florian Hörich
Otto-von-Guericke University / DE
Otto-von-Guericke University
Sortiert nach Datum
Typ
Einsätze
10.10.2022
15:00
–
15:15
12 Min.
3 Min.
Abstract Talk
AT 018
Epitaxy of high quality AlN and AlGaN layers on Si (111) by reactive pulsed sputtering
Characterization, Growth
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