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IWN 2022
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Dr. Po-Jung Lin
GlobalWafers / TW
GlobalWafers
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Datum
Vortrag
12.10.2022
Poster Presentation
PP 355
Suppressing p-type parasitic channel generation at the interface of an aluminum nitride nucleation layer and a high resistivity silicon substrate
Characterization, Growth
Weitere Beteiligungen
12.10.2022
Poster Presentation
PP 355
Suppressing p-type parasitic channel generation at the interface of an aluminum nitride nucleation layer and a high resistivity silicon substrate
Characterization, Growth
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