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Poster Presentation
PP 313

Crack formation mechanism of sputtered and annealed AlN on c- and a-plane sapphire

Termin

Datum: 12.10.2022

Zeit: 12:00 – 12:00

Redezeit: 0 Min.

Diskussionszeit: 0 Min.

Ort / Stream:

Topic Characterization

Session

Characterization

Themen

Characterization
Growth

Mitwirkende

Prof. Dr. Yusuke Hayashi (Osaka University / JP), Professor Tetsuya Tohei (Osaka University / JP), Dr. Kenjiro Uesugi (Mie University / JP), Dr. Kanako Shojiki (Mie University / JP), Professor Hideto Miyake (Mie University / JP), Professor Akira Sakai (Osaka University / JP)