Agus Budi Dharmawan (Laboratory for Emerging Nanometrology, TU Braunschweig / DE; Faculty of Information Technology, Universitas Tarumanagara / ID), Dr. Mayra Garcés-Schröder (Institut für Halbleitertechnik, TU Braunschweig / DE), Prof. Dr. Andreas Waag (Institut für Halbleitertechnik, TU Braunschweig / DE)